beol

网络释义：后段制程(Back End of Line)；后段工艺过程；后段铜制程机台

网络释义

1.后段制程(Back End of Line)段制造设备，诸如光刻步进器等，可能会实现成本高效的后段工艺流程（BEOL）器件封装。

5.后端制程场或暗场成像，这是第一台跨越前端制程（FEOL）和后端制程（BEOL）检验应用的系统，却只需付出最低的拥有成本。